电化学放电加工中气膜厚度及其影响研究 |
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引用本文: | 刘颢, 阿达依·谢尔亚孜旦. 电化学放电加工中气膜厚度及其影响研究[J]. 制造技术与机床, 2023, (10): 9-16. DOI: 10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.10.001 |
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作者姓名: | 刘颢 阿达依·谢尔亚孜旦 |
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作者单位: | 新疆大学机械工程学院,新疆 乌鲁木齐 830017 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(s51665056); |
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摘 要: |  玻璃作为一种非导电硬脆材料,在光学、生物医学、微机电系统等领域应用广泛。电化学放电加工作为针对绝缘硬脆材料的有效微细加工技术,可以在玻璃上进行有效的微结构加工。在电化学放电加工中,放电现象通过击穿气膜产生,气膜作为加工过程中最重要的介质,其质量是形成良好的表面微结构的重要因素。文章研究的重点是气膜特性及其对放电能量分布的影响。 研究采用三因子三水平的全因子试验方法,以电源、占空比、频率三种电源参数为影响因子,气膜厚度为响应进行试验研究,获得最佳气膜质量的工艺参数组合。此外,在石英玻璃和K9光学玻璃两种玻璃上进行了微小孔加工的实验。结果表明,最佳工艺参数组合下能获得更薄气膜,同时也是获得更小径向过切、大的深径比、圆度误差较小的微小孔的最佳条件。

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关 键 词: | 电化学放电加工 气膜特性 参数优化 加工质量 |
收稿时间: | 2023-05-26 |
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