| KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究 |
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| 引用本文： | 江超,王又青.KrF准分子激光精密加工K9光学玻璃的实验研究[J].电加工与模具,2003(2):33-35. |
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| 作者姓名： | 江超 王又青 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,湖北武汉,430074;湖北师范学院物理系,湖北黄石,435003
2. 华中科技大学,湖北武汉,430074 |
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| 摘 要： | 采用波长248nm的KrF准分子激光器对K9光学玻璃的精密微细加工进行了研究，探讨了准分子激光与玻璃的相互作用机理。进行了表面切割和打扎实验，研究了激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律，对加工后的工件表面形貌进行了分析。
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| 关 键 词： | 准分子激光器 激光烧蚀 激光精密加工 激光切割 激光打孔 光学玻璃 |
| 修稿时间： | 2002年11月23 |
Experimental study on precision machining K9 glass by KrF excimer laser |
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| Jiang Chao.Experimental study on precision machining K9 glass by KrF excimer laser[J].Electromachining & Mould,2003(2):33-35. |
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| Authors: | Jiang Chao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | KrF excimer laser laser ablation laser precision machining laser cutting and drilling |
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