离子束散射分析

离子束散射技术得到广泛应用还只有十几年的历史。目前,在国际上它已广泛应用于电子材料、核能材料及材料科学等领域。它的主要优点是简单、快速、直观、可靠。它无需标准样品即可进行定量分析,无需腐蚀、剥离表层即可给出深度分布信息。