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| 全金属小型超高真空气动阀的研制 | |
| 引用本文： | 朱福田,王平.全金属小型超高真空气动阀的研制[J].真空,1983(2). |
| 作者姓名： | 朱福田 王平 |
| 作者单位： | 沈阳真空技术研究所 (朱福田)，沈阳真空技术研究所(王平) |
| 摘 要： | 一、概述 随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要和加速器等科学技术发展的需要,高真空阀门已不能满意,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空气动阀被重视和应用。我所已经研制成功我国第一台小口径超高真空全金属铟密封的气动阀门。并已经应用在高能加速器上,使用效果良好,满足技术要求。 这种阀是由阀体、密封阀盖、传动部分和摆动气缸四部组成。阀的材料用 1Cr 18Ni9Ti制成,可防腐蚀,阀口密封材料采用金属铟作为密封垫圈,可在… |
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