| 二元光学元件——微透镜 |
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| 引用本文： | 孔令彬,易新建,陈四海. 二元光学元件——微透镜[J]. 半导体技术, 2001, 26(11): 74-76 |
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| 作者姓名： | 孔令彬 易新建 陈四海 |
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| 作者单位： | 1. 中国地质大学机电工程系,
2. 华中科技大学光电子工程系, |
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| 摘 要： | 介绍了二元光学的产生和发展，着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。
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| 关 键 词： | 二元光学元件 微透镜 衍射效率 点扩散函数 蚀刻 |
| 文章编号： | 1003-353(2001)11-0074-03 |
| 修稿时间： | 2001-07-23 |
Binary optics element: microlenses |
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| KONG Ling-bin,YI Xin-jian,CHEN Si-hai. Binary optics element: microlenses[J]. Semiconductor Technology, 2001, 26(11): 74-76 |
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| Authors: | KONG Ling-bin YI Xin-jian CHEN Si-hai |
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| Abstract: | This dissertation mainly describes the origin and the development of binary optics. It expatiates on one of elements of binary optics theory:the microlenses and its design, manufacture, testing method, even its primary application. |
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| Keywords: | binary optics microlenses diffractive efficiency point spread function etching |
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