| 薄膜导热系数的测量方法及技术 |
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| 引用本文： | 王伟伟,张敏,李凌智,柳清菊. 薄膜导热系数的测量方法及技术[J]. 功能材料, 2010, 41(5) |
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| 作者姓名： | 王伟伟 张敏 李凌智 柳清菊 |
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| 作者单位： | 云南大学,云南省高校纳米材料与技术重点实验室,云南,昆明,650091;云南大学,云南省高校纳米材料与技术重点实验室,云南,昆明,650091;云南大学,云南省高校纳米材料与技术重点实验室,云南,昆明,650091;云南大学,云南省高校纳米材料与技术重点实验室,云南,昆明,650091 |
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| 基金项目： | 云南省应用基础研究计划重点资助项目 |
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| 摘 要： | 随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜,对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术,分析了各自的优点及不足,并对其以后的发展趋势做了简要分析。
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| 关 键 词： | 薄膜 导热系数 测量 |
Measurement methods and technology of thin-film thermal conductivity |
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| WANG Wei-wei,ZHANG Min,LI Ling-zhi,LIU Qing-ju. Measurement methods and technology of thin-film thermal conductivity[J]. Journal of Functional Materials, 2010, 41(5) |
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| Authors: | WANG Wei-wei ZHANG Min LI Ling-zhi LIU Qing-ju |
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