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| 我国第一台三室结构的分子束外延设备通过部级鉴定 | |
| 引用本文： | 方伟林.我国第一台三室结构的分子束外延设备通过部级鉴定[J].微细加工技术,1986(1). |
| 作者姓名： | 方伟林 |
| 摘 要： | 由电子工业部长沙半导体工艺设备研究所研制的FW-1型分子束外延设备于1985年12月14日至16日在长沙通过了部级鉴定。 分子束外延是在七十年代初期才发展起来的先进半导体技术,与常规的气相、液相外延技术相比,该技术具有真空度高,外延生长是在非热平衡条件下,生长温度相对的低,速率慢,边生长边掺杂,生长过程可进行原位监测及精密控制等一系列的优点,可 |
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