| 高性能a-Si:H TFT开关器件的研制 |
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| 引用本文： | 袁剑峰,杨柏梁,朱永福,李牧菊,刘传珍,吴渊,廖燕平,王刚,邵喜斌,刘宏武,黄锡珉.高性能a-Si:H TFT开关器件的研制[J].液晶与显示,1999,14(3):181-186. |
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| 作者姓名： | 袁剑峰 杨柏梁 朱永福 李牧菊 刘传珍 吴渊 廖燕平 王刚 邵喜斌 刘宏武 黄锡珉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春物理研究所,北方液晶工程研究开发中心,吉林,长春,130021
2. 吉林大学超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130021 |
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| 基金项目： | 中国科学院重大项目，吉林省科技厅科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 介绍了ａ－Ｓｉ：ＨＴＦＴ开关器件的有源层、栅绝缘层、欧接触层以及界面特性的研究工作。研制了ａ－Ｓｉ：ＨＴＦＴ单管器件，其开关电流达到６个数量级，为最终研制ａ－Ｓｉ：ＨＴＦＴＡＭＬＣＤ在奠定了坚实的基础。
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| 关 键 词： | HTFT 开关器件 有源层 栅绝缘层 液晶显示器 |
Preparation of High Performance a-Si:H TFT Devices |
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| YUAN Jian-feng,YANG Bai-liang,ZHU Yong-fu,LI Mu-ju,LIU Chuan-zhen,WU Yuan,LIAO Yan-ping,WANG Gang,SHAO Xi-bin,LIU Hong-wu,HUANG Xi-min.Preparation of High Performance a-Si:H TFT Devices[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,1999,14(3):181-186. |
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| Authors: | YUAN Jian-feng YANG Bai-liang ZHU Yong-fu LI Mu-ju LIU Chuan-zhen WU Yuan LIAO Yan-ping WANG Gang SHAO Xi-bin LIU Hong-wu HUANG Xi-min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | a-Si |
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