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压电作动器在微力微位移装置中的应用
引用本文:王海容,赵则祥,蒋庄德. 压电作动器在微力微位移装置中的应用[J]. 压电与声光, 2002, 24(2): 101-103
作者姓名:王海容  赵则祥  蒋庄德
作者单位:西安交通大学精密工程研究所,西安,710049
基金项目:国家重点基础研究发展规划基金资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 3 )
摘    要:在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载,设计了加载机构,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移,实验得到加载系统刚度,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度,计算出加载力大小。该方法为微机械力学性能测试仪打下了基础。

关 键 词:压电作动器 微力微位移装置 闭环控制 柔性铰链 加载机构
文章编号:1004-2474(2002)02-0101-03
修稿时间:2001-05-21

Application of PZT Actuator Driven by Controller with Strain Feedback in a Loading Mechanism
WANG Hai rong,ZHAO Ze xiang,JIANG Zhuang de. Application of PZT Actuator Driven by Controller with Strain Feedback in a Loading Mechanism[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2002, 24(2): 101-103
Authors:WANG Hai rong  ZHAO Ze xiang  JIANG Zhuang de
Abstract:A loading system driven by PZT actuator,aiming at a testing instrument for determining mechanical properties of microstructure by relation between load and displacement is designed.The relation among the input voltage to actuator,output displacement of loading system and output force is established.The output force is determined as function of input voltage and output displacement after stiffness is obtained by experiment.Study on this mechanism lays a foundation for developing the instrument for mechanical properties of microstructure.
Keywords:PZT actuator  flexure hinge  loading mechanism
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