| 近等原子比TiNi合金薄膜的组织及相变动态观察 |
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| 引用本文： | 曹伟产,卢正欣,麻西群,井晓天. 近等原子比TiNi合金薄膜的组织及相变动态观察[J]. 中国材料进展, 2006, 25(7) |
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| 作者姓名： | 曹伟产 卢正欣 麻西群 井晓天 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 西安理工大学创新基金资助 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法制备TiNi非晶薄膜.通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)等方法研究了TiNi合金薄膜的组织形貌、电子衍射花样,并对其相变过程进行了动态观察.结果表明:态薄膜为非晶态,对其在515℃进行1 h的晶化处理后,薄膜中析出了TiNi3相;晶化处理后的TiNi合金薄膜加热到100℃时,薄膜中R相和马氏体相以切变方式完全转变为奥氏体;当冷却至室温时,是以R相、马氏体相以及少量的奥氏体相存在.其加热过程中的相变顺序为:马氏体相→R相→奥氏体相.冷却过程中的相变顺序为:奥氏体相→R相→马氏体相.
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| 关 键 词： | TiNi合金薄膜 磁控溅射 组织形貌 马氏体相变 |
The Structure and Dynamic Phase Transformation Observation of TiNi Alloy Film about Equal Atomic Ratio |
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| Cao Weichan,Lu Zhengxin,Ma Xiqun,Jing Xiaotian. The Structure and Dynamic Phase Transformation Observation of TiNi Alloy Film about Equal Atomic Ratio[J]. Rare Metals Letters, 2006, 25(7) |
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| Authors: | Cao Weichan Lu Zhengxin Ma Xiqun Jing Xiaotian |
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