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| 干燥空气在半导体生产中的应用 | |
| 引用本文： | 张宏生.干燥空气在半导体生产中的应用[J].半导体技术,1985(6). |
| 作者姓名： | 张宏生 |
| 作者单位： | 南通晶体管厂 |
| 摘 要： | 本文阐述了制取干燥空气的工艺流程及设备、分子筛的性能及吸附特性、分子筛的吸附原理及再生和使用中的注意事项.我厂在加料、初测等操作箱内通入了干燥空气,使相对湿度低于15%,达到了工艺要求,明显地提高了晶体管3AX31、 3AX81的稳定性和可靠性. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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