CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响 |
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引用本文: | 黄文胜,黄琪,等.CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响[J].光学仪器,2001,23(3):7-11. |
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作者姓名: | 黄文胜 黄琪 等 |
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作者单位: | 1. 浙江省科技咨询中心, 2. 浙江大学机械电子控制工程研究所, 3. 浙江大学信息与电子工程系, |
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摘 要: | 在傅里叶测量轮廓术中 ,由于 CCD探测器积分离散抽样效应 ,将对相位的求解造成较大误差 ,通过理论的推导定性地解释了误差的来由 ,并用计算机进行了模拟计算 ,最后提出了减小误差的方法
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关 键 词: | 傅里叶测量轮廓术 CCD 积分抽样 |
文章编号: | 1005—5630(2001)03—0007—05 |
修稿时间: | 2000年3月28日 |
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