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1∶1铬版复印图像反转工艺的研究
作者姓名:李其中
摘    要:本文简要阐述了1∶铬版复印图像反转的原理和主要装置。着重讨论了几个重点工艺参数的选择。最后给出1∶1复印图像反转铬版图形的CD精度。

关 键 词:图像反转 茚 掩模 工艺 铬版 复印
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