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| 空前的MMST：虚拟工厂 | |
| 引用本文： | Lemn.,ZJ 郭大琪.空前的MMST：虚拟工厂[J].微电子技术,1995,23(3):87-89. |
| 作者姓名： | Lemn. ZJ 郭大琪 |
| 摘 要： | 一、概述由预研规划局（ARPA）提供部分资金的微电子制造科学和技术（MMST）工程已成功地验证了一种以智能和柔性工艺设备为基础的崭新的IC制造途径。下一步的工作是把柔性的和可编程的工艺设备与工艺技术计算机辅助设计（T－CAD）以及称之为工艺合成的工艺模型结合起来，使这些开发成果为半导体行业充分发挥其优越性。这种工艺体系允许设计者合成一个完整的制造工艺流程，并可生产一种在电路性能、可靠性、可制造性、寿命周期成本和生产周期被全面统筹优化了的集成电路。整个开发过程，从功能设计到设备选择和装配将被系统地操作。工… |
| 关 键 词： | MMST 微电子技术 微电子制造科学 虚拟工厂 |
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