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PI电容温度传感器结构改进与性能分析
引用本文:苏凤,陈向东.PI电容温度传感器结构改进与性能分析[J].传感器世界,2007(7).
作者姓名:苏凤  陈向东
作者单位:西南交通大学,西南交通大学信息科学与技术学院
摘    要:本文分析了电容型湿度传感器的电极和感湿膜的几何形状,设置感湿膜单元结构为圆柱体或者瓶径体等形状,增大接触面积以减少响应时间,整体感湿膜单元排列成圆环形阵列,上电极也采用圆环形阵列排列,覆盖在感湿单元阵列上方。最后对设计的传感器灵敏度,响应时间等性能进行了分析,得出了有益的结论。

关 键 词:聚酰亚胺  电容湿敏元件  圆柱体  圆电极  阵列
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