| Fe-Al-N薄膜的制备和磁性能 |
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| 引用本文： | 诸葛兰剑,吴雪梅,姚伟国.Fe-Al-N薄膜的制备和磁性能[J].材料研究学报,2003,17(2):205-209. |
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| 作者姓名： | 诸葛兰剑 吴雪梅 姚伟国 |
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| 作者单位： | 苏州大学分析测试中心，苏州大学，苏州大学 苏州市 215006 |
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| 基金项目： | 江苏省教委自然科学基金98KJD430001，苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室T2108104资助项目 |
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| 摘 要： | 用双离子束溅射法在(100)硅片和NaCl单晶基片上制备出FeAlN薄膜，研究了主源气氛和基片温度对FeAlN薄膜的结构及磁性能的影响。在基片温度较高或主源中氮的含量较低时，FeAlN薄膜有较高的饱和磁化强度Ms．加入Al使薄膜的晶粒细化，也使其矫顽力下降，热稳定性提高．在500℃退火后，A1的原子分数为10．0％的FeAlN薄膜仍具有较好的软磁性能，饱和磁化强度Ms和矫顽力Hc分别为2.02T和0．96kA／m．
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| 关 键 词： | 金属材料 磁性能 离子束溅射 FeAlN薄膜 热稳定性 氯化钠单晶基片 铁铝氮薄膜 |
| 文章编号： | 1005-3093(2003)02-0205-05 |
| 修稿时间： | 2002年4月15日 |
Preparation and magnetic properties of Fe-Al-N thin films |
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| ZHUGE Lanjian WU Xuemei YAO Weiguo.Preparation and magnetic properties of Fe-Al-N thin films[J].Chinese Journal of Materials Research,2003,17(2):205-209. |
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| Authors: | ZHUGE Lanjian WU Xuemei YAO Weiguo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | metallic materials magnetic property ion beam sputtering FeAIN thin films thermal stability |
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