|
|||||
|
|
| 基于相移干涉的显微镜薄膜厚度测量 | |
| 作者姓名： | 胥宏 李波 |
| 作者单位： | 成都电子机械高等专科学校,610031,成都市;成都电子机械高等专科学校 |
| 摘 要： | 1测量原理相移干涉显微镜是干涉术与显微术结合的产物，由双光束干涉理论可知，干涉场光强分布用下式表示I（x，y，t）=I1＋I2＋2I1I2cos[φ（x，y）＋δ（t）]（1）式中，I1，I2为两干涉光强；φ（x，y）为原始相位分布；δ（t）为通过移动光学元件产生的相位移动量， |
| 关 键 词： | 干涉显微镜 相移干涉 厚度测量 薄膜 光强分布 相位分布 测量原理 干涉理论 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |