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使MEMS技术更为经济
引用本文:John Pyle. 使MEMS技术更为经济[J]. 电子产品世界, 2004, 0(4): 30-30,57
作者姓名:John Pyle
作者单位:MEMSIC公司
摘    要:在过去的20年中,人们已经开发出了种类繁多的MEMS加速度计,其中大多数都是基于同样的机械系统:带有一个与弹簧相连的敏感质量.弹簧的形状可以是薄膜片式、悬臂梁式或者其它一些结构.


Making MEMs Technology Cost-Effective
John Pyle. Making MEMs Technology Cost-Effective[J]. Electronic Engineering & Product World, 2004, 0(4): 30-30,57
Authors:John Pyle
Abstract:
Keywords:
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