| 柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现 |
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| 引用本文： | 刘旭,高建忠,赵玉龙,蒋庄德.柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现[J].微纳电子技术,2007,44(7):34-36. |
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| 作者姓名： | 刘旭 高建忠 赵玉龙 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,精密工程研究所,西安,710049;机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（50535053,50475085） 教育部“新世纪优秀人才支持计划”资助（NCET-05-0842） |
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| 摘 要： | 针对MEMS复杂器件优化困难的问题，提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法（GA）与有限元方法（FE）联合的优化策略，用MATLAB软件作为“调度员”，将ANSYS与MATLAB自带的遗传算法工具箱进行有机集成，共同完成柔性机构的优化功能。最后以一种柔性微杠杆机构为例，实现了提出的优化方法，给出了优化的结果。
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| 关 键 词： | 微机电系统 柔性机构 微杠杆机构 有限元法 遗传算法 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0034-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-02 |
Novel Strategy and Its Implementation for Size and Shape Optimization of Compliant Mechanisms |
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| LIU Xu,GAO Jian-zhong,ZHAO Yu-long,JIANG Zhuang-de.Novel Strategy and Its Implementation for Size and Shape Optimization of Compliant Mechanisms[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):34-36. |
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| Authors: | LIU Xu GAO Jian-zhong ZHAO Yu-long JIANG Zhuang-de |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS compliant mechanisms microleverage FEM genetic algorithm |
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