| 数字掩模技术 |
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| 引用本文： | 陈劲松. 数字掩模技术[J]. 液晶与显示, 2006, 21(6): 700-703 |
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| 作者姓名： | 陈劲松 |
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| 作者单位： | 安徽财经大学,信息工程学院,安微,蚌埠,233041 |
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| 基金项目： | 安徽省教育厅自然科学基金项目(No.2006KJ050B) |
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| 摘 要： | 数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点。利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出。结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印。为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证。由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2μm最小线宽的制作。利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜。
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| 关 键 词： | 数字微镜 数字掩模 衍射光学元件 空间光调制器 |
| 文章编号： | 1007-2780(2006)06-0700-04 |
| 修稿时间： | 2006-03-07 |
Digital Mask Technology |
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| CHEN Jin-song. Digital Mask Technology[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2006, 21(6): 700-703 |
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| Authors: | CHEN Jin-song |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | digital micromirror device digital mask diffractive optical element spatial light modulator |
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