| 重掺杂硅微球的脉冲放电法制备研究 |
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| 引用本文： | 洪捐,汪炜,冯海娣,张志伟,张伟. 重掺杂硅微球的脉冲放电法制备研究[J]. 电加工与模具, 2011, 0(4) |
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| 作者姓名： | 洪捐 汪炜 冯海娣 张志伟 张伟 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016;盐城工学院机械工程学院,江苏盐城224051
2. 南京航空航天大学机电学院,江苏南京,210016 |
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| 摘 要： | 硅微球的制备是开发新型薄膜太阳能电池和选择性发射极电池的关键技术之一。采用重掺杂单晶硅(电阻率为0.01Ω·cm),在液体介质中利用脉冲放电方法产生局部瞬时高温,制备球状硅微粒。对比电火花线切割和电火花成形两种加工方法,通过对放电区域的温度场分布进行数值模拟,并采用SEM/EDS方法对其微观形貌和成分进行表征和分析,初步掌握了硅微球的形成机理。利用成形加工方法,成功制备出0.5～2μm的硅微球。
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| 关 键 词： | 重掺杂 硅微球 脉冲放电 太阳能电池 |
Research on Preparing Heavy Doped Silicon Microspheres by Pulsed Electrical Discharge Method |
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| Hong Juan,Wang Wei,Feng Haidi,Zhang Zhiwei,Zhang Wei. Research on Preparing Heavy Doped Silicon Microspheres by Pulsed Electrical Discharge Method[J]. Electromachining & Mould, 2011, 0(4) |
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| Authors: | Hong Juan Wang Wei Feng Haidi Zhang Zhiwei Zhang Wei |
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| Affiliation: | Hong Juan~(1,2),Wang Wei~1,Feng Haidi~1,Zhang Zhiwei~1,Zhang Wei~1 (1.Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing 210016,China,2.Yancheng Institute of Technology,Yancheng 224051,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | heavy doped silicon microsphere pulsed electrical discharge solar cell |
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