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动圈式磁悬浮工件台线圈阵列实时电流分配法则
引用本文:张生果,朱煜,尹文生,杨开明,张鸣. 动圈式磁悬浮工件台线圈阵列实时电流分配法则[J]. 机械工程学报, 2011, 47(6). DOI: 10.3901/JME.2011.06.180
作者姓名:张生果  朱煜  尹文生  杨开明  张鸣
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划),清华大学摩擦学国家重点实验室自主研究课题
摘    要:在多自由度磁悬浮工件台运动控制中,多自由度动力学解耦是至关重要的.解耦多自由度动力学需要将工件台动台所受的力/矩分解到对应的运动自由度上.而由于永磁阵列磁场的准静态特性,力/矩分解只能通过线圈阵列实时电流分配来实现.采用洛伦兹力法则的平面积分,建立多自由度动圈式磁悬浮工件台的力/矩分解模型;基于此力/矩分解模型和线圈阵列热损耗最小原则,建立工件台线圈阵列实时电流分配法则;分析该法则的数值稳定性及其对产生的对应力/矩的误差影响.理论分析和案例研究表明,该法则数值稳定性高,计算准确可靠,根据该法则对线圈阵列分配电流后产生的对应力/矩误差很小.该法则可用于多自由度动圈式磁悬浮工件台力/矩分解、多自由度动力学解耦,从而实现对工件台的运动控制.

关 键 词:动圈式磁悬浮工件台  力/矩分解  线圈阵列  实时电流分配法则  条件数  数值稳定性

Coil Array Real-time Commutation Law for Magnetically Levitated Stage with Moving-coils
ZHANG Shengguo,ZHU Yu,YIN Wensheng,YANG Kaiming,ZHANG Ming. Coil Array Real-time Commutation Law for Magnetically Levitated Stage with Moving-coils[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2011, 47(6). DOI: 10.3901/JME.2011.06.180
Authors:ZHANG Shengguo  ZHU Yu  YIN Wensheng  YANG Kaiming  ZHANG Ming
Abstract:
Keywords:
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