| 两步合金法制作p-GaN高反电极 |
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| 引用本文： | 郭德博,梁萌,范曼宁,刘志强,王良臣,王国宏.两步合金法制作p-GaN高反电极[J].光电子．激光,2008,19(7). |
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| 作者姓名： | 郭德博 梁萌 范曼宁 刘志强 王良臣 王国宏 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极.电极的构成采用透明电极 高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助于Ag基电极反射率的提高.可靠性测试表明Ag基电极的稳定性较好,对于Al基电极,热处理后反射镜上出现暗斑,导致其反射率的下降.最终获得了波长在460nm处反射率为74%的Ag基高反射电极.
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| 关 键 词： | p型GaN 欧姆接触 两步合金法 高反射电极 |
Ohmic contacts of high reflective poles on p-GaN using two-step anneal method |
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| GUO De-bo,LIANG Meng,Fan Man-ning,LIU Zhi-qiang,WANG Liang-chen,WANG Guo-hong.Ohmic contacts of high reflective poles on p-GaN using two-step anneal method[J].Journal of Optoelectronics·laser,2008,19(7). |
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| Authors: | GUO De-bo LIANG Meng Fan Man-ning LIU Zhi-qiang WANG Liang-chen WANG Guo-hong |
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| Affiliation: | GUO De-bo,LIANG Meng,Fan Man-ning,LIU Zhi-qiang,WANG Liang-chen,WANG Guo-hong(Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | p-GaN ohmic contact two-step anneal method high reflective contacts |
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