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| SMIF系统在集成电路制造中的应用 | |
| 引用本文： | 吴俊民,赵怡.SMIF系统在集成电路制造中的应用[J].微计算机信息,2002,18(6):52-53. |
| 作者姓名： | 吴俊民 赵怡 |
| 作者单位： | 1. 215008,江苏省苏州,江苏苏净集团洁净技术研究中心 2. 215008,苏州电子产品检验所 |
| 摘 要： | 本文介绍的是一种全新概念的集成电路制造工艺环境实现方案，技术先进，实用性强，提高国产集成电路的成品率有非常重要的作用。 |
| 关 键 词： | 标准机械接口系统 SMIF系统 集成电路 制造 |
| 修稿时间： | 2001年11月22 |
The Application Of SMIF In The Integrated Circuit Manufacture |
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| Abstract: | |
| Keywords: | SMIF |
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