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| 压电陶瓷微量进给机构精密驱动电源的设计 | |
| 引用本文： | 任三平,李益民.压电陶瓷微量进给机构精密驱动电源的设计[J].机械与电子,1993(5):30-32. |
| 作者姓名： | 任三平 李益民 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学 |
| 摘 要： | 该电源可实现电压0～300V 连续可调,分辨率为75mV(当电压变化100mV 时,位移变化0.01μm),输出纹波小于5mV,电源频响达500Hz,电压稳定性好,运行2h 后,输出变化小于0.03%。它具有手动和计算机程控两种功能。 |
| 关 键 词： | 驱动电源 压电陶瓷 微量进给机构 |
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