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| 光学零件超精密加工达到纳米级精度 | |
| 作者姓名： | 陈循介 |
| 摘 要： | 日本FANUC公司以生产NC系统闻名于世。它在光学码盘部件中使用了高精度的光学零件。为使这些零件达到高精度加工,最近研究开发了ROBO nano Ui型超精密复合微细加工机,对光学零件超精密加工能达到纳米级(10~(-9)m)精度。它与ROBOSHOTα-50i AP型电 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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