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微型热释电红外传感器

作者姓名：	陈光增林吉申

作者单位：	福州大学电子系(陈光增，王明烺)，福州大学电子系(林吉申)

摘要：	报道一种新结构的微型热释电红外传感器，介绍其结构，工艺与性能参数。
关键词：	热释电微型传感器红外传感器
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