| 一种大角度高频率的激光偏转扫描微反射镜设计方案 |
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| 引用本文： | 王石语,过振,田强,蔡德芳,文建国. 一种大角度高频率的激光偏转扫描微反射镜设计方案[J]. 激光杂志, 2000, 21(5): 11-13 |
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| 作者姓名： | 王石语 过振 田强 蔡德芳 文建国 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学501教研室!西安710071 |
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| 摘 要： | 本文设计了一种用于激光偏转扫描的微反射镜 ,使用微结构对激光光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算 ,该微反射镜可以 80 0Hz频率、40°偏转角进行激光扫描。
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| 关 键 词： | 微反射镜 激光偏转扫描 频率 微结构 |
Design of a micro scanning-laser system with high frequency and large angle |
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| Wang shiyu,Guo Zhen,Tian Qiang,Cai Defang,Wen Jianguo. Design of a micro scanning-laser system with high frequency and large angle[J]. Laser Journal, 2000, 21(5): 11-13 |
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| Authors: | Wang shiyu Guo Zhen Tian Qiang Cai Defang Wen Jianguo |
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| Abstract: | In this paper,we have designed a novel micro mirror system to scan laser beam.After carefully calculating,we conclude that the scanning angle can be 40 degree,and the scanning frequency can be over 800 hertz. |
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| Keywords: | micro mirror |
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