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使用点气体纯度保证技术
引用本文:
Hard.,SJ 胡永清.使用点气体纯度保证技术[J].微电子学,1989,19(4):76-79.
作者姓名:
Hard.
SJ 胡永清
作者单位:
Hercules公司
摘 要:
气体纯度仍然被认为是一个主要的工艺变量;只是在目前通过一种新的纯化方法的实际采用,使得使用点气体纯化处理得到了广泛认可。
关 键 词:
半导体加工
气体
纯度
纯化处理
点
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