基于现场总线的硅片处理系统计算机监控系统 |
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引用本文: | 王小军.基于现场总线的硅片处理系统计算机监控系统[J].机电一体化,2002,8(3):57-59. |
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作者姓名: | 王小军 |
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作者单位: | 陕西工学院机电工程系,汉中,723003 |
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摘 要: | 硅片处理系统对系统运行的可靠性、可维护性、易操作性要求较高。本文提出了一种基于CAN总线的硅片处理系统的计算机监控系统,介绍了系统的工作原理、硬件结构和软件流程。实际应用表明,该系统能够实时监视硅片处理系统的运行状况,准确地对硅片处理系统的运行进行控制,同时能够及时发现故障、快速处理各种故障等,提高了硅片处理系统的可靠性和运行效率,具有良好的应用前景。
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关 键 词: | 现场总线 CAN总线 计算机监控系统 |
The Computer Supervising System of Silicon Process System Based on Field Bus |
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