| CMOS电路与大量程流量计的单片集成 |
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| 引用本文： | 赵涛,张大成,王小保. CMOS电路与大量程流量计的单片集成[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 473-475 |
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| 作者姓名： | 赵涛 张大成 王小保 |
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| 作者单位： | 北京大学,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国科学院资助项目 |
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| 摘 要： | 在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.
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| 关 键 词： | 压阻器件 流量计 集成化 工艺 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0473-03 |
| 修稿时间： | 2005-05-05 |
On-chip Integration of CMOS IC and Mass Flow Meter |
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| Zhao Tao,Zhang Dacheng,Wang Xiaobao. On-chip Integration of CMOS IC and Mass Flow Meter[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 473-475 |
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| Authors: | Zhao Tao Zhang Dacheng Wang Xiaobao |
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