|
|||||
|
|
| 以WSP的批量生产为目标开拓生物-电子结合的道路 | |
| 引用本文： | 徐京生.以WSP的批量生产为目标开拓生物-电子结合的道路[J].精细与专用化学品,1986(4). |
| 作者姓名： | 徐京生 |
| 摘 要： | 松下电器工业和日本合成橡胶公司共同开发超超 LSI(大规模集成电路)用的微细图形加工材料——水溶性光聚物(WSP),并打算从二月份起进行实用化研究。超 LSI 的生产已迅速进入1.2微米线条的1M 时代,研究水平可达到0.8微米线条的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |