氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响 |
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引用本文: | 杨盼,赵晓冲,杨丽军,顾友辰,林红,赖新春.氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响[J].稀有金属材料与工程,2018(Z1). |
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作者姓名: | 杨盼 赵晓冲 杨丽军 顾友辰 林红 赖新春 |
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作者单位: | 表面物理与化学重点实验室;清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 |
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摘 要: | 采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明,最优Ar气流量为22 cm~3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400~1100 nm波长下的光透过率为87.2%。
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