| 微应变诱导各向异性硅纳米晶形成及其光学特性 |
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| 引用本文： | 畅庚榕,刘明霞,马飞,徐可为. 微应变诱导各向异性硅纳米晶形成及其光学特性[J]. 材料导报, 2018, 32(18): 3104-3109 |
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| 作者姓名： | 畅庚榕 刘明霞 马飞 徐可为 |
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| 作者单位： | 西安文理学院陕西省再制造与表面工程技术重点实验室;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅项目(16JK2201；16JK2198)；西安市科技计划项目(2017CGWL09；2016CXWL27；2017CGWL14) |
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| 摘 要： | 通过磁控溅射技术制备了非晶态富硅的碳化硅锗(Si_(1-x-y)Ge_xC_y)薄膜,经过后续高温热处理,形成各向异性硅纳米晶,其微结构和光学特性由高分辨电镜、光致发光及光吸收实验进行表征,研究了各向异性应变对硅纳米晶形态和光学特性的影响,阐述了各向异性硅纳米晶的形成机理。研究表明,在各向异性应变能的诱导下硅纳米晶沿着〈002〉、〈113〉和〈220〉取向择优生长,形成具有多形态的硅纳米晶,显著改变了其能级结构,在2.57eV和2.64eV的位置硅纳米晶存在PL发射光谱,光吸收波段明显增加,可以同时吸收从红外到紫外(2.57eV,1.89eV,1.2eV和0.96eV)的光子,且光吸收范围随硅锗(RS/G)比例可调,故有望提高光伏电池的光量子产额。
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| 关 键 词： | 硅纳米晶 各向异性 微观结构 光致发光 光伏电池 |
Formation of Microstrain-induced Anisotropic Silicon Nanostructure and Its Optical Property |
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| CHANG Gengrong,LIU Mingxi,MA Fei and XU Kewei. Formation of Microstrain-induced Anisotropic Silicon Nanostructure and Its Optical Property[J]. Materials Review, 2018, 32(18): 3104-3109 |
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| Authors: | CHANG Gengrong LIU Mingxi MA Fei XU Kewei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon nanocrystals anisotropy microstructure photoluminescence photovoltaic cell |
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