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多弧离子镀TiN装饰膜表面颗粒研究
引用本文:
杨建宏,周伟.多弧离子镀TiN装饰膜表面颗粒研究[J].真空,1995(1):20-24.
作者姓名:
杨建宏
周伟
作者单位:
太原重型机械学院
摘 要:
多弧离子镇生产的TiN装饰膜表面含有一定数目的颗粒。严重影响着膜层色泽、光洁度、孔隙度及耐腐性、实验表明:“二次辉光”的改进工艺,可以有效地减少表面颗粒数目,改善膜层质量。
关 键 词:
多弧离子镀,颗粒,TiN装饰膜
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