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| 硅基法布里-珀罗微腔的室温发光 | |
| 引用本文： | 王燕,但亚平,岳瑞峰,刘理天.硅基法布里-珀罗微腔的室温发光[J].半导体学报,2003,24(1). |
| 作者姓名： | 王燕 但亚平 岳瑞峰 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 提出了一种新型基于法布里-珀罗(F-P)微腔的发光器件结构.它采用PECVD方法制备的非晶硅/二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层,通过对一维方向光子的限制,使发光层荧光强度增强,谱线变窄.通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率,可以精确控制发光峰位.实验结果证明该结构可望实现全硅基材料的强室温可见光发射. |
| 关 键 词： | 法布里-珀罗(F-P)微腔 碳化硅 光致发光 |
Room Temperature Luminescent Properties of Si-Based Fabry-Perot Microcavity |
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| Keywords: | |
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