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| MOS环振式数字加速度传感器 | |
| 引用本文： | 张兆华,岳瑞峰,刘理天.MOS环振式数字加速度传感器[J].半导体学报,2003,24(12). |
| 作者姓名： | 张兆华 岳瑞峰 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 提出了一种新的环振式数字加速度传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减.该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点.分析了环形振荡器的频率特性,以及环形振荡器的谐振频率和加速度的关系,分析并设计了加速度传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺,并制作了样品,其灵敏度为6.91kHz/g. |
| 关 键 词： | 数字式加速度传感器 环形振荡器 混频器 |
A Novel Digital Accelerometer Using MOS Ring Oscillators |
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