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| 减反射薄膜的制备及其性能 | |
| 引用本文： | 张雪娜,徐雪青,沈辉,郑岳华.减反射薄膜的制备及其性能[J].半导体学报,2003,24(Z1). |
| 作者姓名： | 张雪娜 徐雪青 沈辉 郑岳华 |
| 作者单位： | 1. 华南理工大学材料学院,广州,510641 2. 中国科学院广州能源所,广州,510070 3. 华南理工大学材料学院,广州,510641;中国科学院广州能源所,广州,510070 |
| 基金项目： | 中国科学院"百人计划" |
| 摘 要： | 使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO2减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3%.采用红外光谱分析了SiO2溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si-O-Si键增强. |
| 关 键 词： | SiO2薄膜 减反射 溶胶-凝胶 红外光谱分析 |
Preparation and Performances of Antireflective Coating |
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| Keywords: | |
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