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| Si3N4微尺度薄膜的热物性 | |
| 引用本文： | 宋青林,夏善红,陈绍凤,张建刚. Si3N4微尺度薄膜的热物性[J]. 半导体学报, 2003, 24(Z1) |
| 作者姓名： | 宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜,并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数. |
| 关 键 词： | 热物性 热容 悬膜 |
Thermal Characteristics of Silicon Nitride Thin Membrane |
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