| 双电测组合法测试半导体电阻率的研究 |
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| 引用本文： | 宿昌厚,鲁效明.双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J].半导体学报,2003,24(3). |
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| 作者姓名： | 宿昌厚 鲁效明 |
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| 作者单位： | 1. 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022
2. 中国计量科学研究院集成电路室,北京,100013 |
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| 摘 要： | 对双电测组合四探针法测试方块电阻(Rs)和体电阻率(ρ)进行了研究,从理论和实践上揭示三种组合模式的共同优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等距探针头;具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子;不移动探针头即可得知均匀性.推导出用于体电阻率时的厚度函数.论述了Rs、ρ、大小样片及边界附近的测试原理,给出了Rs和ρ的计算公式.
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| 关 键 词： | 双电测组合四探针法 方块电阻 电阻率 |
Study of Measuring Semiconductor Resistivity by Three Mode Dual Electro-Testing Configuration with Four-Point Probes |
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