| 16信道0.35μm CMOS/VCSEL光发射模块 |
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| 引用本文： | 陈弘达,申荣铉,毛陆虹,唐君,梁琨,杜云,黄永箴,吴荣汉,冯军,柯锡明,刘欢艳,王志功. 16信道0.35μm CMOS/VCSEL光发射模块[J]. 半导体学报, 2003, 24(3) |
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| 作者姓名： | 陈弘达 申荣铉 毛陆虹 唐君 梁琨 杜云 黄永箴 吴荣汉 冯军 柯锡明 刘欢艳 王志功 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083
2. 东南大学射频与光电集成电路研究所,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 研究了垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性,将1×16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装(MCM),混合集成为16信道VCSEL光发射功能模块.测试过程中,功能模块的光电特性及其均匀性良好,测量的-3dB频带宽度大于2GHz.
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| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器 CMOS 光电子混合集成 光互连 |
16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules |
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| Chen Hongda,Shen Rongxuan,Mao Luhong,Tang Jun,Liang Kun,Du Yun,HUANG Yongzhen,Wu Ronghan,Feng Jun,Ke Ximing,Liu Huanyan,Wang Zhigong. 16-Channel 0.35μm CMOS/VCSEL Transmission Modules[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2003, 24(3) |
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| Authors: | Chen Hongda Shen Rongxuan Mao Luhong Tang Jun Liang Kun Du Yun HUANG Yongzhen Wu Ronghan Feng Jun Ke Ximing Liu Huanyan Wang Zhigong |
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| Abstract: | The vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) arrays and VCSEL-based optical transmission modules are investigated.It includes the VCSEL's spectral characteristic,modulation characteristic,high frequency characteristic,and compatibility with microelectronic circuit.The module consists of 1×16 VCSEL array and 16-channel lasers driver with 0.35μm CMOS circuit by hybrid integration.During the test process,the module operates well at more than 2GHz in -3dB frequency bandwidth. |
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| Keywords: | VCSEL CMOS optoelectronic integration optical interconnects |
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