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| 量块检定用激光干涉仪 | |
| 引用本文： | 范志刚,浦昭邦,徐进. 量块检定用激光干涉仪[J]. 应用激光, 1996, 0(1) |
| 作者姓名： | 范志刚 浦昭邦 徐进 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天学院 |
| 摘 要： | 量块检定用激光干涉仪，采用增量式测量，性能稳定，自动化性能好，测量精度高。分辨率为０．０１μｍ，重复性误差在０．０３μｍ以内，满足新检定规程中二等量块的检定要求。 |
| 关 键 词： | 量块，激光干涉仪，检定 |
The Study of Laser Interferometer Used to Assay Gauge |
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| Fan Zhigang,Pu Zhaobang,Xu Jin. The Study of Laser Interferometer Used to Assay Gauge[J]. Applied Laser, 1996, 0(1) | |
| Authors: | Fan Zhigang Pu Zhaobang Xu Jin |
| Abstract: | |
| Keywords: | gauge laser interferometer assay |
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