| TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进 |
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| 引用本文： | 关亚兰,崔秀清,刁训刚,王涛.TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进[J].真空,2012,49(5):62-64. |
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| 作者姓名： | 关亚兰 崔秀清 刁训刚 王涛 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京,100083
2. 中国运载火箭技术研究院五一九厂,山西长治,046012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目(90305026);中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504) |
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| 摘 要： | 本文以北京天瑞星公司生产的大型TX 1800商用磁控溅射镀膜机为例,简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却在此基础上,提出了一种全新的思路,对冷却系统进行了重新设计.
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| 关 键 词： | 靶 层板 发汗冷却 |
Improvement of the cooling system for TX1800 magnetron sputtering machine |
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| GUAN Ya-lan
,
CUI Xiu-qing
,
DIAO Xun-gang
,
WANG Tao.Improvement of the cooling system for TX1800 magnetron sputtering machine[J].Vacuum,2012,49(5):62-64. |
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| Authors: | GUAN Ya-lan CUI Xiu-qing DIAO Xun-gang WANG Tao |
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| Affiliation: | 1.School of Physical Science and Nuclear Engineering,Beihang University,Beijing 100083,China; 2.519 Machinery Factory,China Academy of Vehicle Technology,Changzhi 046012,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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