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半导体

摘要：	东芝公司和东芝陶瓷有限公司共同研制一种获得高性能高纯硅单晶的技术。所使用坩埚的表面,用真空化学蒸发法蒸镀上一层氮化硅薄膜。研制的坩埚用反应烧结氮化硅或石墨制成,在坩埚的内壁用真空化学蒸发法蒸镀一层氮化硅陶瓷。氮化硅坩
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