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快速评价微杜瓦真空寿命及应用北大核心CSCD
引用本文:张亚平徐世春徐冬梅刘湘云高玲.快速评价微杜瓦真空寿命及应用北大核心CSCD[J].真空科学与技术学报,2018(7):557-563.
作者姓名:张亚平徐世春徐冬梅刘湘云高玲
作者单位:1.昆明物理研究所650223;
摘    要:微杜瓦内置吸气剂是一项关键技术,使红外微杜瓦内部长期维持高真空状态,保证红外探测器组件全寿命周期内可靠工作。采用传统方法预测微杜瓦真空寿命不仅耗时,而且难以及时指导微杜瓦设计和技术改进。通过分离影响杜瓦真空寿命的核心因素:贮存温度和吸气剂用量,采用单因素实验的方法评价微杜瓦真空寿命,实现真空寿命的快速评价。结合内置吸气剂的杜瓦高温贮存实验,预估室温下真空寿命。另外,采用杜瓦内置真空规技术,极大地缩短了内置吸气剂杜瓦的高温贮存试验时间,为微杜瓦的吸气剂用量配置和技术改进提供及时的信息资源。

关 键 词:微杜瓦  真空寿命  快速评价  吸气剂用量  内置微型规
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