| 掺杂TiO2的纳米多孔SiO2薄膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 陈娟 张瑾 蒋继富 王向前 柳清菊. 掺杂TiO2的纳米多孔SiO2薄膜的制备及性能研究[J]. 材料导报, 2007, 21(F11): 99-101 |
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| 作者姓名： | 陈娟 张瑾 蒋继富 王向前 柳清菊 |
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| 作者单位： | 云南大学材料科学与工程系,昆明650091 |
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| 基金项目： | 云南省应用基础研究计划重点项目（2006E0001Z）资助 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法、分子模板法及旋转涂覆法在硅衬底上制备掺杂TiO2的SiO2薄膜，并采用差热分析（DSC-TGA）、红外吸收光谱（FTIR）、X射线衍射、小角衍射（SAXS）、原子力显微镜（AFM）、台阶仪（Atomic-Profiler）以及纸擦拭法（paper-wiping method）和胶带剥离法（adhesive tpe-stripping method）对薄膜的性能进行了分析与表征，结果表明，薄膜的最佳热处理温度为400℃，所制备的掺杂TiO2的SiO2薄膜为多孔结构的无定形态，具有较好的机械性能，平均孔径随着膜层的增加而减小，一层膜和两层膜的平均孔径分别为87.4nm和62.8nm，厚度分别为538.7nm和1032.3nm。
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| 关 键 词： | 掺杂TiO2的纳米多孔SiO2薄膜 溶胶-凝胶法 分子模板法 |
Study on Preparation and Properties of TiO2-Doped Nanoporous SiO2 Films |
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| CHEN Juan, ZHANG Jin,JIANG Jifu, WANG Xiangqian, LIU Qingju. Study on Preparation and Properties of TiO2-Doped Nanoporous SiO2 Films[J]. Materials Review, 2007, 21(F11): 99-101 |
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| Authors: | CHEN Juan ZHANG Jin JIANG Jifu WANG Xiangqian LIU Qingju |
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| Keywords: | TiO2-doped nanoporous SiO2 films sol-gel method molecular-template method |
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