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基于单片机的硅片处理系统设计
作者姓名:张晶  殷志祥
作者单位:安徽理工大电气与信息工程学院,安徽淮南232000
摘    要:本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现,重点阐述了系统结构、调速测速的原理,最后给出了上位机编程的设计思想。

关 键 词:单片机  模块化  转速测量
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