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| AFM检测金刚石刀具锋利度误差分析研究 | |
| 引用本文： | 岳晓斌,张晓锋,雷大江,徐敏. AFM检测金刚石刀具锋利度误差分析研究[J]. 工具技术, 2014, 48(12): 11-16 |
| 作者姓名： | 岳晓斌 张晓锋 雷大江 徐敏 |
| 作者单位： | 1. 复旦大学;中国工程物理研究院 2. 中国工程物理研究院 3. 复旦大学 |
| 摘 要： | 金刚石刀具是超精密切削的重要工具,其刃口锋利度的好坏对工件切削质量有着直接影响。基于AFM的金刚石刀具刃口锋利度检测是目前的主要方法,但是由于AFM仪器本身、扫描参数设置以及刀具状况、外界干扰等多种影响因素的作用,将导致金刚石刀具纳米级锋利度的检测产生多种误差。以圆弧刃金刚石刀具为测量对象,深入分析各个因素的影响过程,进行了理论分析和实验过程,提出了抑制和修正方法。研究表明,通过上述研究和措施的实施,可以提高锋利度的检测精度,为金刚石刀具高质量评价体系的建立提供理论和方法支持。 |
| 关 键 词： | 锋利度 AFM 测量误差 |
Research on Error of Measuring Sharpness Edge of Diamond Tool Based on AFM |
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| Yue Xiaobin,Zhang Xiaofeng,Lei Dajiang,Xu Min. Research on Error of Measuring Sharpness Edge of Diamond Tool Based on AFM[J]. Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering), 2014, 48(12): 11-16 | |
| Authors: | Yue Xiaobin Zhang Xiaofeng Lei Dajiang Xu Min |
| Abstract: | |
| Keywords: | sharpness edge AFM measuring erross |
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