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| 〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究 | |
| 作者姓名： | 马铁英 李劲松 梁培 |
| 作者单位： | 中国计量学院光学与电子科技分院 杭州 310018 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金青年科学基金,国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口膜系由50%KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构。在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上,制备了基于〈100〉开口的测辐射热计与红外热电堆悬浮单元结构。 |
| 关 键 词： | 正面腐蚀 悬浮结构 各向异性 |
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