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| 铜薄膜电阻温度传感器的研制 | |
| 作者姓名： | 李光云 陈佩娴 杨年光 张振昭 曾广兴 |
| 作者单位： | 华南师范大学(李光云，陈佩娴，杨年光)，广东工学院(张振昭)，广东工学院(曾广兴) |
| 摘 要： | 本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 铜薄膜电阻 温度传感器 工艺条件 响应性能 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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